Вестник МГОУ. Серия: Физика-математика / 2020 №3
| Название статьи | ИССЛЕДОВАНИЕ ФИЗИЧЕСКИХ СВОЙСТВ УГЛЕРОДНЫХ АЛМАЗОПОДОБНЫХ ПОКРЫТИЙ, НАНЕСЁННЫХ МЕТОДОМ ИМПУЛЬСНОГО ЛАЗЕРНОГО ОСАЖДЕНИЯ |
| Авторы | Николаева Д.В., Генералов Д.В., Паршин Б.А., Макеев М.О. |
| Серия | Физика-математика |
| Страницы | 53 - 64 |
| Аннотация | Цель исследования - определение толщин и оптических констант углеродных алмазоподобных покрытий, нанесённых методом импульсного лазерного осаждения, для выработки рекомендаций по технологическим режимам нанесения данных покрытий на медные и алюминиевые зеркала. Процедура и методы. Для определения толщин и оптических констант углеродных алмазоподобных покрытий применяется метод ИК-спектроскопической эллипсометрии. Результаты. Определены толщины и оптические константы углеродных алмазоподобных покрытий, нанесённых на образцы медных и алюминиевых зеркал методом импульсного лазерного осаждения. Теоретическая и практическая значимость. Определены оптимальные с точки зрения оптических характеристик технологические режимы нанесения алмазоподобных покрытий методом импульсного лазерного осаждения на медные и алюминиевые подложки. |
| Ключевые слова | углеродное алмазоподобное покрытие, эллипсометрия, упрочнение, оптические элементы, факторы космического пространства, технологические режимы, импульсное лазерное осаждение |
| Индекс УДК | 621.793 + 535.544 |
| DOI | 10.18384/2310-7251-2020-3-53-64 |
| Список цитируемой литературы | 1. Robertson J. Diamond-like amorphous carbon // Materials science and engineering: R: Reports. 2002. Vol. 37. Iss. 4-6. P. 129-281. DOI: 10.1016/S0927-796X(02)00005-0. 2. Bewilogua K., Hofmann D. History of diamond-like carbon films - from first experiments to worldwide applications // Surface and Coatings Technology. 2014. Vol. 242. P. 214-225. DOI: 10.1016/j.surfcoat.2014.01.031. 3. Grill A. Diamond-like carbon coatings as biocompatible materials - an overview // Diamond and related materials. 2003. Vol. 12. Iss. 2. P. 166-170. DOI: 10.1016/S0925-9635(03)00018-9. 4. Hauert R. DLC films in biomedical applications // Tribology of Diamond-Like Carbon Films. Boston, MA: Springer, 2008. P. 494-509. DOI: 10.1007/978-0-387-49891-1_20. 5. Protective diamond-like carbon coatings for future optical storage disks / Piazza F., Grambole D., Schneider D., Casiraghi C., Ferrari A. C., Robertson J. // Diamond and Related Materials. 2005. Vol. 14. Iss. 3-7. P. 994-999. DOI: 10.1016/j.diamond.2004.12.028. 6. Diamond-like carbon protective anti-reflection coating for Si solar cell / Choi W. S., Kim K., Yi J., Hong B. // Materials Letters. 2008. Vol. 62. Iss. 4-5. P. 577-580. DOI: 10.1016/j.matlet.2007.06.019. 7. Упрочнение зеркальной поверхности за счет нанесения углеродной наноструктуры / Батшев В. И., Козлов А. Б., Мачихин А. С., Макеев М. О., Осипков А. С., Булатов М. Ф., Кинжагулов И. Ю., Степанова К. А. // Оптика и спектроскопия. 2019. Т. 127. № 10. С. 581-585. DOI: 10.21883/OS.2019.10.48361.174-19. 8. Progress in Spectroscopic Ellipsometry: Applications from Vacuum Ultraviolet to Infrared / Hilfiker J. N., Bungay C. L., Synowicki R. A., Tiwald T. E., Herzinger C. M., Johs B., Pribil G. K., Woollam J. A. // Journal of Vacuum Science & Technology A. 2003. Vol. 21. Iss. 4. P. 1103-1108. DOI: 10.1116/1.1569928. 9. Survey of methods to characterize thin absorbing films with Spectroscopic Ellipsometry / Hilfiker J. N., Singh N., Tiwald T., Convey D., Smith S. M., Baker J. H., Tompkins H. G. // Thin Solid Films. 2008. Vol. 516. Iss. 22. P. 7979-7989. DOI: 10.1016/j.tsf.2008.04.060. 10. Use of Molecular Vibrations to Analyze Very Thin Films with Infrared Ellipsometry / Tompkins H. G., Tiwald T., Bungay C., Hooper A. E. // The Journal of Physical Chemistry B. 2004. Vol. 108. Iss. 12. P. 3777-3780. DOI: 10.1021/jp035731a. 11. Liu P., Zhang Y., Martin S. T. Complex Refractive Indices of Thin Films of Secondary Organic Materials by Spectroscopic Ellipsometry from 220 to 1200 nm // Environmental Science & Technology. 2013. Vol. 47. Iss. 23. P. 13594-13601. DOI: 10.1021/es403411e. 12. Infrared optical properties of amorphous and nanocrystalline Ta2O5 thin films / Bright T. J., Watjen J. I., Zhang Z. M., Muratore C., Voevodin A. A., Koukis D. I., Tanner D. B., Arenas D. J. // Journal of Applied Physics. 2013. Vol. 114. Iss. 8. P. 083515. DOI: 10.1063/1.4819325. 13. Макеев М. О., Жукова Е. А. Исследование алмазоподобных покрытий методами ИК-спектральной эллипсометрии и спектроскопии комбинационного рассеяния света // Наука и образование: научное издание МГТУ им. Н. Э. Баумана. 2013. № 07. С. 229-240. DOI: 10.7463/0713.0597996. 14. Макеев М. О., Зверев А. В., Родионов И. А. Исследование характеристик и методов нанесения резиста с применением ИК-спектральной эллипсометрии // Вестник Московского государственного технического университета им. Н. Э. Баумана. Серия: Приборостроение. 2015. № 6 (105). С. 125-134. DOI: 10.18698/0236-3933-2015-6-125-134. 15. Ремез Л. М., Шупенев А. Е., Куликов И. В. Анализ влияния технологических параметров процесса импульсного лазерного осаждения на физико-морфологические свойства тонких пленок // Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии: материалы Всероссийской научно-технической конференции (7-10 апреля, 2015, Москва, МГТУ им. Н. Э. Баумана) [Электронный ресурс]. URL: studvesna.ru?go=articles&id=1196 (дата обращения: 22.06.2020). 16. Handbook of ellipsometry / ed. by H. G. Tompkins, E. A. Irene. Norwich, NY: William Andrew Publishing, Springer, 2005. 870 p. 17. Рывкина Н. Г. Эллипсометрия в нанотехнологиях // Мир измерений. 2009. № 10. С. 19-25. 18. IR-VASE User’s Manual. USA: J. A. Woollam Co. Inc., 2006. 670 p. 19. Wooten F. Optical Properties of Solids. New York: Academic Press, 1972. 270 p. |
| Полный текст статьи | |
| Кол-во скачиваний | 17 |
